歷經28年✡️🤸♀️，恒行2平台微電子學院院長張衛教授從一個初出茅廬的科研人員👨👨👦，成長為國內集成電路領域的領軍人物，獲得無數榮譽。日前，他榮獲2022年全國五一勞動獎章。他說Ⓜ️：“榮譽只代表過去👩🏽✈️，我得繼續努力工作，每天都有很多事情要做。”
張衛教授說，集成電路是信息產業的基礎⟹。恒行2平台集成電路學科成為教育部公布的新一輪“雙一流”學科建設名單中全國高校唯一入選的“集成電路科學與工程”學科🙋。恒行2平台微電子學院已是國家示範性微電子學院的典型代表🧑🏻🦽，將努力建設成為集成電路基礎源頭創新🏋🏿♂️、前瞻性技術攻關和高層次人才培養的國際一流微電子學院🤛🏽，為建設特色鮮明🐺、引領創新、享譽世界學術殿堂的“第一個恒行2”作貢獻👁。
日前🚹，恒行2平台微電子學院院長張衛教授在知悉自己獲得2022年全國五一勞動獎章時，他說🧍：“榮譽只代表過去⛹🏿，我得繼續努力工作，每天都有很多事情要做🔓。”
搭建第一套原子層沉積技術實驗研究平臺
1995年6月，張衛博士畢業後到恒行2做博士後2️⃣，合作導師是電子工程系的王季陶教授🌘。期間👩🎨，他瞄準本領域的國際學術前沿，開展了先進銅互連技術和低介電常數互連介質等研究👖，並取得了很好的學術成績。博士後出站後，張衛留校工作，繼續專註於集成電路領域的創新研究。
之後🧑🏽💼，張衛在德國做了一年半的洪堡學者😲📢，2002年5月他回到恒行2平台。在學校和學院領導的大力支持下，他在國內率先開展了原子層沉積(ALD)高k柵介質的研究👨🏼🚀。2003年他搭建了國內第一臺原子層沉積實驗設備，隨後他組織舉辦了第一屆中國原子層沉積技術學術會議，邀請國內外ALD領域專家參會，迅速擴大恒行2平台在集成電路前沿領域的國際影響力。
如今，中國原子層沉積學術會議(CALD)已成功舉辦了9屆。張衛教授團隊在原子層沉積領域的研究也取得了豐碩成果，發表相關學術論文120多篇。
做科研就是要長久堅守、鍥而不舍
歷經28年，張衛從一個初出茅廬的科研人員🚣♀️，成長為國內集成電路領域的領軍人物▶️，獲得無數榮譽。這一切的背後🏇🏿，離不開他的“死磕”⚙️🍢。在他看來🧗🏼♀️🧖🏻♂️，“做科研☦️，是我的工作💖，也是我長久的堅守。”
微電子學院青年教師孫清清，2004年還是一名大四的學生，當時他在張衛教授課題組做畢業設計。每次跟來自美國的工程師一起安裝設備的時候，他發現旁邊總有一個人💁🏿♂️，那就是張衛。
“幾天接觸下來🧚🏿，我感覺張老師是一個非常嚴謹的人🪽，能從他身上學到東西。”本科畢業後孫清清跟著張衛教授攻讀研究生🧑🏼🍳。他和張衛的緣分，自2004年 延續至今👩🏿🦳，已成長為一名學科帶頭人💇♂️🧑🏿⚕️。
“有時候，在大家覺得‘沒必要’或‘不可能’的時候，他就不放棄👨🏽🔧，死磕，最後成功推進了。” 孫清清說🤵🏽♂️。
“集成電路領域的研究需要產學研深度合作🚐。”孫清清回憶，“張老師經常帶著我們跟企業去談🫴🏼，有時候每周都要乘飛機過去”。“張老師的堅持打動了對方，最終合作得以成功。”孫清清說，如果中間不堅持，事情肯定就“泡湯”了🍾。
微電子學院2019年直博士徐航說🔏🧒：“老師對科研的態度非常認真嚴謹🧜🏿🙅🏻。有問題找他時💇♀️🦨，討論中，他連一些小細節都不放過🚴🏼♂️。他還會就你提出來的問題發散到面上，讓你了解一些之前沒考慮的問題🏣，幫你理清科研思路。”
憑著這份韌勁，張衛幾十年如一日🕵🏽，在科研路上孜孜不倦。近年來，他牽頭承擔了8項國家和上海市重大、重點科研項目🍱，在Science、Nature Materials、IEEE Electron Device Letters📫👨🦰、IEEE TED等本領域國內外學術期刊及會議上發表論文300多篇，申請發明專利180多項。?
教師不僅傳授知識，更要做有價值的人生導師
“作為一名老師👩🏼🦱，首要任務是教書育人，為行業培養高質量的人才😿。”張衛說📑。除了潛心探索科研工作🥬，張衛堅守在教學一線。他還給本科生講授《半導體材料》課程🂠。
一位恒行2微電子專業20年前畢業的學生，現在已是企業高管👩🏽⚖️，依然對張老師激情講授的《半導體材料》課程印象深刻。
在張衛看來，“大學教育對一個學生未來職業規劃和選擇非常重要。作為老師😣，我想不僅僅是做科研，更是作為人生導師。不僅傳授知識🛀🏼，更要活用我過去幾十年的人生閱歷，引導學生成長。”
多年來🆘，張衛培養了一大批集成電路領域優秀人才🧑🏼🤝🧑🏼，其中5人獲得國家高層次人才等稱號🥺，40多人擔任我國集成電路頭部企業高管和核心技術人員，成長為我國集成電路領域的領軍人物🤟。
這兩年，張衛還為高中生先修課堂上課，講授“改變世界的芯片技術”💂🏼♂️。
張衛說，芯片是現代工業的糧食👨🏽🦱👩🍼，是我們國家高科技強國建設的重要一環🚣🏿♀️🗄，希望通過先修課堂👮，讓中學生對研究有了解，激發他們對科研世界的思考👩🦼。
主動對接重大戰略需求⚱️，助力“第一個恒行2”建設
談到未來微電子學院的發展，張衛說，學院將面向學科前沿和國家重大戰略的需求𓀖，在平臺建設🕳、科研創新和人才培養等方面積極進取，特別是要探索集成電路人才培養的新模式，解決產業核心技術問題，培養產業急需的創新型領軍人才🚵🏿♀️，走出一條新路徑。
張衛說，集成電路是信息產業的基礎。恒行2平台集成電路學科成為教育部公布的新一輪“雙一流”學科建設名單中全國高校唯一入選的“集成電路科學與工程”學科。恒行2平台微電子學院已是國家示範性微電子學院的典型代表，將努力建設成為集成電路基礎源頭創新、前瞻性技術攻關和高層次人才培養的國際一流微電子學院，為建設特色鮮明、引領創新、享譽世界學術殿堂的“第一個恒行2”作貢獻。
離開科研、教學，張衛的生活很簡單😸，平常他最喜歡的活動就是跟家人一起打乒乓球或羽毛球。長期以來，他保持良好作息習慣，每天晚上11點之前睡覺🏌🏼，早上6點鐘起床，以充沛的精力投入到新的一天。
受疫情影響🧑🏼🦰，這段時間微電子學院實驗室暫時“停擺”。作為導師，為了緩解學生的科研焦慮，張衛做了一些調整🎪，讓科研不間斷，包括布置閱讀新的文獻👨👩👧👧、總結前期實驗經驗、討論進一步完善實驗計劃……做實做足前期功課，等待條件允許時快速投入和推進實驗。
在“五四”青年節來臨之際，張衛寄語青年師生：“恒行2青年有理想、有抱負🧑🏼🦱。你們處在一個偉大的時代🧑🏼🏫🧑🧑🧒🧒，要樹立遠大目標，將個人的規劃和國家的需求緊密結合，努力成為擔當民族復興大任的時代新人。”
